پروسیسنگ پروڈکٹ کی خصوصیات
مواد:اعلی - طہارت کوارٹج گلاس (Sio₂ مواد سے زیادہ یا اس کے برابر 99.99 ٪)
processess:گہا چیمفر پیسنے (قطر 408 ملی میٹر × موٹائی 20.5 ملی میٹر)
pres عمل کی ضروریات:سموچ 0.02 ملی میٹر سے کم یا اس کے برابر ، کھردری RA 0.8μm سے کم یا اس کے برابر
صنعت چیلنجز اور درد کی نشاندہی
A. کوارٹج گلاس پروسیسنگ کی خصوصیات
اعلی برٹیلینس ، کنارے کے خاتمے کی خرابی کی شرح 30 ٪ سے زیادہ ہے
مقعر اسفک سطح کی پروسیسنگ سموچ مسخ کا شکار ہے
روایتی پیسنے والی پہیے پیسنا ذیلی - سطح کے مائکرو کریکس کا شکار ہے
B روایتی حل نقائص
کم کارکردگی :سنگل ٹکڑے پروسیسنگ میں 72 گھنٹے سے زیادہ کا وقت لگتا ہے
صحت سے متعلق کی کمی:سموچ اتار چڑھاؤ 0.03 ملی میٹر تک پہنچ جاتا ہے
سطح کو نقصان :کھردری کو صرف RA1.2μm پر کنٹرول کیا جاسکتا ہے
بشینحل: الٹراسونک گرین پروسیسنگ سسٹم
سامان:پانچ - محور لنکج الٹراسونک ملنگ سینٹر (انٹیگریٹڈ آن لائن آپٹیکل کا پتہ لگانے)
عمل:20 کلو ہرٹز ہائی - تعدد الٹراسونک اسسٹڈ پیسنے (کولینٹ درجہ حرارت کنٹرول ± 1 ڈگری)
کوالٹی کنٹرول:اصلی - پروسیسنگ اخترتی کے لئے وقت معاوضہ ، درستگی میں 40 ٪ بہتری
ماپنے کارکردگی کی پیشرفت
کنارے کے خاتمے کا کنٹرول:عیب حجم 0.433 ملی میٹر سے کم ہوکر 0.049 ملی میٹر (88.7 ٪ کی کمی)
سطح کا معیار:کھردری RA0.58μm (صنعت کے معیار سے 27.5 ٪ بہتر)
سموچ کی درستگی:0.015 ملی میٹر تک مستحکم
