ہمارے سیمیکمڈکٹر گاہکوں میں سے ایک - ایک EU - پر مبنی OEM EUV لتھوگرافی میں مہارت حاصل کرنے والا - ہم سے ایک چیلنج کے ساتھ رابطہ کیا: ایک اعلی - کثافت تیار کرنے کے لئےمائکرو چینل کولنگ پلیٹ6061-T6 ایلومینیم سے بنایا گیا۔ جزو کی ضرورت ہے1،200 مائیکرو - سوراخ، ہر ایک8 0.18 ملی میٹر، a کے ساتھگہرائی - سے - قطر کا تناسب 10: 1، اور± 5 μm کے تحت پوزیشن کی درستگیپورے حصے کی سطح پر۔
کلیدی چیلنجوں میں شامل ہیں:
ٹول ٹوٹناانتہائی پہلو تناسب کی وجہ سے
برقرار رکھناسوراخ سیدھالمبی سوراخ کرنے والی گہرائیوں سے زیادہ
یقینی بناناچپ انخلامائیکرو - سوراخوں کو درست کرنے کے بغیر
روک تھامتھرمل مسخمسلسل ڈرلنگ کے دوران
ان کو حل کرنے کے لئے ، ہم نے ملازمت کی:
خصوصی مائکرو - ڈرل ٹولنگاندرونی کولینٹ چینلز کے ساتھ
ملٹی - مرحلہپیک ڈرلنگ کی حکمت عملیرہائش اور مراجعت کنٹرول کے ساتھ
الٹراسونک - اس کی مدد سے فلشنگچپ کلیئرنس کو یقینی بنانے کے لئے
- عمل میںتھرمل استحکامتوسیع کو کنٹرول کرنے کے لئے پاس کے درمیان
متعدد تکرار اور نقالی کے بعد ، ہم نے ایک پر عمل درآمد کیا2 پاس کی سوراخ کرنے والی اور دوبارہ کام کرنے کا عملاس نے مستقل سوراخ جیومیٹری اور برر - مفت اندرونی سطحوں کو حاصل کیا۔ پوسٹ - مشینی معائنہ a کا استعمال کرتے ہوئے500 × ڈیجیٹل مائکروسکوپاورتحقیقات اسکیننگ کے ساتھ سی ایم ایمتصدیق:
اندر کے تمام سوراخ±3 μmرواداری بینڈ
نیچے سطح کی کھردریRA 0.2 μm
ہول - to - سوراخ کے فاصلے سے انحراف کے اندر±4 μmایک 150 ملی میٹر × 150 ملی میٹر میٹرکس کے پار
اس جزو نے ہیلیم لیک ٹیسٹ ، تھرمل ٹرانسفر کی کارکردگی کی جانچ کو منظور کیا ، اور اسے بغیر کسی کام کے گاہک کے پائلٹ کی تعمیر میں قبول کرلیا گیا۔
