کیس اسٹڈی: کوارٹج گلاس سبسٹریٹ پروسیسنگ میں پیشرفت
پروسیسنگ آبجیکٹ: فوٹو لیتھوگرافی کے لئے کوارٹج گلاس سبسٹریٹ
وضاحتیں:
مواد: 99.99 ٪ اعلی - طہارت کوارٹج گلاس
پروسیسنگ کی خصوصیات: ڈبل - رخا C0.2 چیمفر + عمودی سائیڈ وال
سطح کی ضروریات: را <150nm (آئینہ گریڈ)
طول و عرض: 145 × 145 × 5.5 ملی میٹر ± 0.01 ملی میٹر
انڈسٹری پروسیسنگ درد پوائنٹس کا تجزیہ
سیمیکمڈکٹر مینوفیکچرنگ آلات کے بنیادی استعمال کے طور پر ، فوٹو لیتھوگرافی کے لئے کوارٹج حصوں کو ایک ہی وقت میں تین سخت معیارات کو پورا کرنے کی ضرورت ہے: مادی ٹرانسمیٹینس> 99.6 ٪ ، جہتی رواداری ± 10μm ، اور سائیڈ وال کھردری RA <150nm۔ پروسیسنگ کا روایتی طریقہ پیسنے والی پہیے پیسنے کے عمل کا استعمال کرتا ہے ، جس میں صنعت کے دو بڑے مسائل ہیں۔
کارکردگی کی رکاوٹ: سنگل - ٹکڑے پروسیسنگ میں 120 منٹ تک کا وقت لگتا ہے
سطح کے نقائص: residual grinding wheel pattern leads to Ra value>560nm
آلے کا نقصان: عام ٹول کی زندگی 50 ٹکڑوں سے کم ہے
بشینحل ٹیکنالوجی کی جدت
کوارٹج مواد کی سخت اور ٹوٹنے والی خصوصیات کے پیش نظر ، ایک جامعپروسیسنگ حلاپنایا گیا ہے:
K 20KHz الٹراسونک صحت سے متعلق کندہ کاری اور ملنگ سسٹم
• لازمی پی سی ڈی مائکرو - بلیڈ ملنگ کٹر (ایج R0.05 ملی میٹر)
• محوری پرتوں کاٹنے کا عمل (فی پرت 2μm)
پیمائش شدہ پروسیسنگ فوائد کا موازنہ
عمل کی توثیق اور موازنہ کے ذریعہ ، کلیدی اشارے میں نمایاں بہتری آئی ہے:
صنعت کی درخواست کی قیمت
اس حل نے لتھوگرافی مشین کے پرزوں کے لوکلائزیشن کے عمل میں "رکاوٹ" پروسیسنگ کے مسئلے کو کامیابی کے ساتھ حل کیا ، جس سے کوارٹج سبسٹریٹ پیداواری صلاحیت کو 10 ٹکڑوں سے روزانہ 50 ٹکڑوں سے بڑھایا گیا ، اور پروسیسنگ کی اہلیت کی شرح 63 ٪ سے 98.5 ٪ ہوگئی۔ زیئس لیزر انٹرفیومیٹر کی کھوج کے مطابق ، پروسیسنگ سطح کی درستگی پی وی ویلیو ہے<λ 10="" (λ="632.8nm)," which="" meets="" the="" qualified="" assembly="" standards="" of="" optical="">
کے بارے میںبشین
بشین صحت سے متعلقصحت سے متعلق ہارڈ ویئر پارٹس پروسیسنگ میں مہارت حاصل ہے ، جس میں 7،500 مربع میٹر معیاری ورکشاپس ہیں ، اور اس کی خدمات میں ایرو اسپیس ، طبی سامان ، صنعتی روبوٹ اور دیگر شعبوں کا احاطہ کیا گیا ہے۔ پیچیدہ ساختی حصوں اور آئی ایس او سسٹم سرٹیفیکیشن پر کارروائی کرنے کی صلاحیت کے ساتھ ، یہ صارفین کو ڈیزائن اور ترقی سے بڑے پیمانے پر پیداوار تک مکمل - عمل کے حل فراہم کرتا ہے۔
