تیسری - جنریشن سیمیکمڈکٹر مینوفیکچرنگ کے میدان میں ، سلیکن کاربائڈ ویفر ٹرے اور چکس ان کی سنکنرن مزاحمت اور اعلی تھرمل چالکتا کی وجہ سے ناقابل تلافی کلیدی اجزاء بن چکے ہیں۔ تاہم ، ان کی پروسیسنگ کے دوران انڈسٹری کے درد کے نکات نے طویل عرصے سے صحت سے متعلق مینوفیکچرنگ کمپنیوں کو متاثر کیا ہے۔
عام پروسیسنگ کیس
سلیکن کاربائڈ ویفر ٹرے چک پروسیسنگ پروجیکٹ کے لئے ایک مخصوص کمپنی کے ذریعہ کئے گئے گہا کی تکمیل اور D380x5 ملی میٹر ورک پیسوں کی نالی کے ڈھانچے کو پیسنے کی ضرورت ہے۔ اس مواد کی سختی HV2،002 تک پہنچ جاتی ہے ، جو قدرتی ہیرا کی سختی کے 1/3 کے قریب ہے۔ پروسیسنگ کے دوران بار بار کنارے کے خاتمے کے مسائل کے نتیجے میں پاس کی شرح 60 فیصد سے بھی کم ہوگئی ، اور روایتی ٹولز کو 159 منٹ میں ختم کردیا گیا ، اور ایک ہی ٹکڑے کی پروسیسنگ میں 888 منٹ تک لگے۔
صنعت پروسیسنگ میں درد کے مقامات
ایس آئی سی میٹریل کو روایتی پروسیسنگ میں تین بڑے چیلنجوں کا سامنا کرنا پڑتا ہے جس کی وجہ سے وہ اعلی سختی اور برٹیلینس کی وجہ سے ہیں۔
ورک پیس کے کناروں کی چپنگ کی شرح 35 ٪ سے زیادہ ہے
ٹول پہننے کی شرح روایتی مواد سے 3-5 گنا زیادہ ہے
staw 0.5μm کی سطح کی کھردری پر قابو پانے کی درستگی کو مستحکم رکھنا مشکل ہے
بشینحل انوویشن پریکٹس
سلیکن کاربائڈ پروسیسنگ کی خصوصی ضروریات کے جواب میں ، بشین ٹیکنیکل ٹیم نے تین - اسٹیج پروسیس انوویشن کو نافذ کیا:
20 20 کلو ہرٹز الٹراسونک کمپن اسسٹڈ پروسیسنگ سسٹم متعارف کروانا
an لازمی پی سی ڈی مائیکرو کو تخصیص کرنا - بلیڈ ملنگ کٹر (ایج آر زاویہ 0.02 ملی میٹر)
para پیرامیٹرز کاٹنے کے لئے انکولی متحرک ایڈجسٹمنٹ الگورتھم تیار کرنا
عمل اپ گریڈ کے نتائج
سامان کی تبدیلی کے بعد پیداواری اعداد و شمار سے پتہ چلتا ہے:
1. چپنگ کی شرح 8 فیصد سے بھی کم رہ گئی ہے
2. کسی ایک ٹکڑے کے پروسیسنگ ٹائم کو 462 منٹ تک بہتر بنایا گیا ہے
3. ٹول کی زندگی 317 منٹ سے تجاوز کر گئی ہے
4. سطح کی کھردری کو RA0.4μm پر مستحکم کنٹرول کیا جاتا ہے
